世界では先端半導体の開発が進んでおり、あらゆる製品・部品でそのサイズの縮小、構造パターンの微細化が進行しています。一方、半導体関連製品の小型化、微細化に伴って発熱の問題が増加しています。異常過熱の防止は最終製品のライフタイム、故障防止に不可欠ですが、温度計測には技術的課題があります。発熱の特定、定量化が重要であるが、局所の発熱ではシミュレーションで捉えることは難しい。しかし小さな対象は熱電対では温度計測ができず、発熱箇所の寸法が1mmを切ると専用のサーモグラフィでなければ計測できない。

　サーマルヴューX MCRシリーズはハードウェアとソフトウェア共に微小領域計測に必要な機能と補正、キャリブレーションを備えています。微小領域を捉えるのに十分な感度をもつ検出器、解像に十分な光学系を搭載したうえで、微小領域特有の誤差を解決するための補正と専用キャリブレーションを行います。さらにユーザーが状況に応じて補正できるようGUI上の専用機能を備えています。サーマルヴューX MCRシリーズはウェハ上のパターン、材料構造、微小加熱源、発光デバイス、微小封止材、微小部品・素材等の先端半導体、新しい製品向け製造者のための最新の顕微鏡サーモグラフィです。